光學尺最高精度可達 0.1µm

標準2倍同軸光萊卡鏡頭

4環 16段或64 段可程式控制光源系統

1/2英吋sony彩色高解析度CCD

Z 軸標準行程為 100 mm，220x150mm機種可選配加高至 400*400*200 mm